Inspektion von Wafer-Oberflächenfehlern

AOI Automatische optische Inspektion

WaferEye810,ausgelegt für 8-Zoll-Waffeln,ist ein fortschrittliches System zur präzisen Erkennung von Oberflächendefekten auf Wafern,gewährleistung hohe-Qualitätskontrolle.Durch die Integration des Schneidens-kantenoptische Systeme und fortschrittliche Bildverarbeitungstechniken,Dieses System zeichnet sich durch die Erkennung von Oberflächendefekten von nur 10 x 10 aus&Mikro;m groß,inklusive Kratzer,Brüche,Risse,abnormale PADs,und mehr.Intelligente Software ermöglicht echtes-Zeitbildanzeige und Fehleranalyse,Automatische Dokumentation der Koordinaten abnormaler Chip-Chips zusammen mit Fehlerdetails.Dadurch wird verhindert, dass fehlerhafte Chipchips in den nächsten Prozess gelangen,das Produktionskostenrisiko effektiv reduzieren.
Das System’Die Flexibilität von s erstreckt sich auch auf die individuelle Anpassung,Berücksichtigung spezifischer Kundenbedürfnisse bei Inspektionsprojekten.Es ermöglicht eine nahtlose Anpassung der Parameter an einzigartige Prozesse und Produktanforderungen,Gewährleistung einer gründlichen Inspektion und verbesserter Erkennungsraten.Die Entscheidung für maßgeschneiderte Projekte bietet eine maßgeschneiderte Lösung,was letztendlich die Produktionseffizienz steigert.
Die Wahl unseres Inspektionssystems WaferEye810 bedeutet ein Bekenntnis zu hoher Qualität und Effizienz.Lassen’Wir arbeiten zusammen, um eine neue Ära der AOI-Inspektion einzuläuten!

Merkmale

• Nutzt die Line-Scan-Erkennungsmethode,Unterstützt Wafer mit einer Größe von bis zu 8 Zoll
• Ausgestattet mit einem Hoch-Auflösung 2.8&Mikro;m-Kamera zur klaren Erfassung von Oberflächendefekten auf Wafern.
• Erkennt Fehler mit einer Mindestgröße von etwa 10 x 10&Mikro;M.
• Kann Oberflächendefekte vor und nach dem Waferschneiden prüfen.
• Kann Defekte auf der Waferoberfläche und den Bondpads erkennen(UNTERLAGE),mit anschließender Fehleranalyse.
• Anpassbar an unterschiedliche Branchenanforderungen,Ermöglicht den Austausch oder das Hinzufügen von Prüfgegenständen.
• Ausgestattet mit einem Hoch-Performance-Computer und einem Touchscreen,Gewährleistung einer komfortablen Bedienung und real-Zeitbildinspektion.
• Intuitive, intelligente Software verbessert die betriebliche Effizienz und Wartung.
• Unterstützt Offline-Inspektion,Bietet Flexibilität, um den Anforderungen verschiedener Produktionslinien gerecht zu werden.

WaferEye810 Broschüre

Spezifikationen
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Inspektionswafertyp:Wafer-Glassubstrat
Inspektionswafergröße: ≦8-Zoll-Wafer
Inspektionsmängel:Wafer:Kratzen,Absplittern,Riss；UNTERLAGE:Verfärbung,Kontamination,Verformung
Erkennungsgröße:10 x 10 um(Mindest.)
Inspektionslichtquelle:LED
Bilderfassungsgerät:Zeilenkamera
Auflösung:2.8 ähm/Pixel
Taktzeit:500 Sek./Stck(8-Zoll)
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Inspektionsausrüstung:WaferEye810
Inspektionssoftware:Fehlerinspektionssystem
Geräteabmessungen:170 x 130 x 220 cm
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