Проверка дефектов поверхности пластины

Автоматический оптический контроль AOI

ВафляEye810,рассчитан на 8-дюймовые пластины,это передовая система, предназначенная для точного обнаружения дефектов поверхности пластин.,обеспечение высокого-проверка качества.Благодаря интеграции резки-периферийные оптические системы и передовые методы обработки изображений,эта система превосходно обнаруживает поверхностные дефекты размером всего 10 x 10&микро;м по размеру,включая царапины,поломки,трещины,аномальные PAD,и более.Интеллектуальное программное обеспечение позволяет реально-отображение временного изображения и анализ дефектов,автоматическое документирование координат аномальных чипов вместе с подробностями дефектов.Это предотвращает переход дефектных чипов на следующий процесс.,эффективное снижение риска производственных затрат.
Система’гибкость распространяется на настройку,удовлетворение конкретных потребностей клиентов в инспекционных проектах.Это позволяет плавно настраивать параметры для уникальных процессов и требований к продукту.,обеспечение тщательного контроля и повышенных показателей обнаружения.Выбор индивидуальных проектов обеспечивает индивидуальное решение,конечном итоге повышение эффективности производства.
Выбор нашей системы контроля WaferEye810 означает приверженность как высокому качеству, так и эффективности..Позволять’Мы сотрудничаем, чтобы проложить путь к открытию новой эры инспекций AOI.!

Функции

• Использует метод обнаружения линейного сканирования,поддержка пластин размером до 8 дюймов
• Оснащен высоким-резолюция 2.8&микро;Камера m для четкого определения поверхностных дефектов пластин.
• Обнаруживает дефекты минимальным размером около 10 x 10.&микро;м.
• Возможность проверки дефектов поверхности до и после резки пластин..
• Способен обнаруживать дефекты на поверхности пластины и контактных площадках.(ПАД),с последующим анализом дефектов.
• Адаптируется к различным отраслевым требованиям,возможность замены или добавления объектов контроля.
• Оснащен высоким-производительный компьютер и сенсорный экран,обеспечение удобной эксплуатации и реального-проверка изображения во времени.
• Интуитивное интеллектуальное программное обеспечение повышает эффективность эксплуатации и обслуживания..
• Поддерживает автономную проверку,обеспечение гибкости для удовлетворения потребностей различных производственных линий.

Брошюра WaferEye810

Технические характеристики
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Тип проверки пластины:Подложка из вафельного стекла
Проверка размера пластины: ≦8-дюймовая пластина
Проверка дефектов:вафля:Царапать,Чипирование,Трескаться；ПАД:Обесцвечивание,Загрязнение,Деформация
Размер обнаружения:10 х 10 мкм(Мин.)
Инспекционный источник света:ВЕЛ
Устройство захвата изображения:Камера линейного сканирования
Разрешение:2.8 мкм/пиксель
Такт времени:500 секунд./шт.(8-дюйм)
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Инспекционное оборудование:ВафляEye810
Программное обеспечение для проверки:Система контроля дефектов
Размеры оборудования:170 х 130 х 220 см
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------