ウエハ表面欠陥検査

AOI自動光学検査

WaferEye810,8人用に設計-インチウェーハ,ウェーハ上の表面欠陥を正確に検出することに特化した高度なシステムです,高いものを確保する-品質検査.切削加工の融合により-エッジ光学システムと高度な画像処理技術,このシステムは、10 x 10 という小さな表面欠陥の検出に優れています。&マイクロ;サイズはm,傷も含めて,破損,ひび割れ,異常な PAD,もっと.インテリジェントなソフトウェアにより、-時間画像表示と欠陥解析,異常なダイチップの座標と欠陥の詳細を自動的に文書化します。.これにより、欠陥のあるダイチップが次のプロセスに進むのを防ぎます。,生産コストのリスクを効果的に軽減.
システム’カスタマイズにも及ぶ柔軟性,検査プロジェクトに対する顧客の特定のニーズに対応する.独自のプロセスや製品要件に合わせてパラメータをシームレスに調整できます。,徹底した検査と検出率の向上を実現.カスタマイズされたプロジェクトを選択すると、カスタマイズされたソリューションが提供されます,最終的に生産効率を向上させる.
当社の WaferEye810 検査システムを選択することは、高品質と効率の両方への取り組みを意味します。.させて’協力して AOI 検査の新時代の開拓を先導します!

特徴

• ラインスキャン検出方式を採用,最大8インチサイズのウェーハをサポート
• 高機能を搭載-解像度2.8&マイクロ;ウェーハ上の表面欠陥を鮮明に捕捉するためのmカメラ.
• 最小サイズ約10×10の欠陥を検出&マイクロ;メートル.
• ウェーハ切断前後の表面欠陥検査が可能.
• ウェーハ表面やボンディングパッドの欠陥を検出可能(パッド),その後の欠陥分析.
• さまざまな業界の要件に適応可能,検査項目の置き換えや追加が可能.
• 高機能を搭載-パフォーマンスコンピューターとタッチスクリーン,便利な操作性と本物の機能を確保-時間画像検査.
• 直感的なインテリジェント ソフトウェアにより、運用効率とメンテナンスが向上します。.
• オフライン検査にも対応,さまざまな生産ラインの需要に柔軟に対応します.

WaferEye810 パンフレット

仕様
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検査ウェハの種類:ウエハガラス基板
検査ウェハサイズ: ≦8-インチウェーハ
検査上の欠陥:ウエハ:傷,チッピング,割れ目；パッド:変色,汚染,変形
検出サイズ:10×10μm(分.)
検査用光源:導かれた
画像キャプチャデバイス:ラインスキャンカメラ
解決:2.8um/ピクセル
タクトタイム:500秒./個(8-インチ)
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検査装置:WaferEye810
検査ソフトウェア:欠陥検査装置
装置の寸法:170×130×220cm
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