Kontrola defektů povrchu plátků

Automatická optická kontrola AOI

WaferEye810,určeno pro 8-palcové oplatky,je pokročilý systém věnovaný přesné detekci povrchových vad na waferech,zajištění vysoké-inspekce kvality.Prostřednictvím integrace řezání-okrajové optické systémy a pokročilé techniky zpracování obrazu,tento systém vyniká v detekci povrchových vad o velikosti 10 x 10&mikro;m ve velikosti,včetně škrábanců,rozbití,praskliny,abnormální PADy,a více.Inteligentní software umožňuje skutečné-zobrazení časového obrazu a analýza defektů,automatické dokumentování souřadnic abnormálních čipů matrice spolu s podrobnostmi o defektech.Tím se zabrání tomu, aby vadné třísky matrice postupovaly do dalšího procesu,efektivně snížit riziko výrobních nákladů.
Systém’Flexibilita se rozšiřuje na přizpůsobení,přizpůsobení specifickým potřebám zákazníků pro kontrolní projekty.Umožňuje bezproblémovou úpravu parametrů pro jedinečné procesy a požadavky na produkty,zajištění důkladné kontroly a zvýšené míry detekce.Volba projektů na míru poskytuje řešení na míru,v konečném důsledku zvyšuje efektivitu výroby.
Výběr našeho inspekčního systému WaferEye810 znamená závazek k vysoké kvalitě a účinnosti.Nechat’spolupracujeme, abychom byli průkopníkem nové éry inspekce AOI!

Funkce

• Využívá metodu detekce Line Scan,podpora waferů o velikosti až 8 palců
• Vybaveno vys-rozlišení 2.8&mikro;m kamera pro jasné zachycení povrchových vad na waferech.
• Detekuje vady s minimální velikostí kolem 10 x 10&mikro;m.
• Schopnost kontrolovat povrchové vady před a po řezání plátků.
• Schopný detekovat vady na povrchu destičky a lepicích podložek(PODLOŽKA),s následnou analýzou defektů.
• Přizpůsobitelné různým průmyslovým požadavkům,umožňující výměnu nebo přidání položek kontroly.
• Vybaveno vys-výkonný počítač a dotykový displej,zajišťující pohodlné ovládání a skutečné-časová kontrola obrazu.
• Intuitivní inteligentní software zvyšuje provozní efektivitu a údržbu.
• Podporuje offline kontrolu,poskytuje flexibilitu pro splnění požadavků různých výrobních linek.

Brožura WaferEye810

Specifikace
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Typ inspekční destičky:Oplatkový skleněný substrát
Velikost inspekční destičky: ≦8-palcový plátek
Kontrolní vady:Oplatka:Poškrábat,Čipování,Crack；PODLOŽKA:Odbarvení,Kontaminace,Deformace
Velikost detekce:10 x 10 um(Min.)
Kontrolní světelný zdroj:VEDENÝ
Zařízení pro snímání obrazu:Line Scan Camera
Rozlišení:2.8 um/pixel
Čas taktu:500 sec./ks(8-palec)
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Inspekční zařízení:WaferEye810
Inspekční software:Systém kontroly defektů
Rozměry zařízení:Rozměr 170 x 130 x 220 cm
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------