Проверка на дефектите на повърхността на пластинат

AOI автоматична оптична инспекция

WaferEye810,предназначен за 8-инчови вафли,е усъвършенствана система, посветена на прецизното откриване на повърхностни дефекти на пластини,осигуряване на високо-проверка на качеството.Чрез интегриране на рязане-крайни оптични системи и усъвършенствани техники за обработка на изображения,тази система превъзхожда откриването на повърхностни дефекти с размери до 10 x 10&микро;м по размер,включително драскотини,счупвания,пукнатини,необичайни PAD,и още.Интелигентният софтуер позволява реални-показване на изображение във времето и анализ на дефекти,автоматично документиране на координатите на необичайни чипове на матрицата заедно с подробности за дефекта.Това предотвратява преминаването на дефектни чипове към следващия процес,ефективно намаляване на риска от производствените разходи.
Системата’гъвкавостта се простира до персонализиране,задоволяване на специфични нужди на клиента за инспекционни проекти.Позволява безпроблемно регулиране на параметрите за уникални процеси и изисквания към продукта,осигуряване на задълбочена проверка и повишени нива на откриване.Изборът на персонализирани проекти осигурява индивидуално решение,в крайна сметка повишаване на ефективността на производството.
Изборът на нашата система за инспекция WaferEye810 означава ангажимент за високо качество и ефективност.Позволявам’си сътрудничим, за да поведем пътя в пионерството в нова ера на инспекцията на AOI!

Характеристика

• Използва метод за откриване на линейно сканиране,поддържащи вафли с размер до 8 инча
• Снабден с висок-резолюция 2.8&микро;m камера за ясно улавяне на повърхностни дефекти на вафли.
• Открива дефекти с минимален размер около 10 x 10&микро;м.
• Възможност за проверка на повърхностни дефекти преди и след рязане на пластини.
• Възможност за откриване на дефекти по повърхността на вафлата и свързващите подложки(ПОДЛОЖКА),с последващ анализ на дефектите.
• Адаптивен към различни индустриални изисквания,позволяващи замяна или добавяне на елементи за проверка.
• Снабден с висок-мощен компютър и сензорен екран,осигуряване на удобна работа и реални-проверка на изображението във времето.
• Интуитивният интелигентен софтуер подобрява оперативната ефективност и поддръжката.
• Поддържа офлайн проверка,осигуряване на гъвкавост, за да отговори на изискванията на различни производствени линии.

Брошура за WaferEye810

Спецификации
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Тип вафла за проверка:Вафлен стъклен субстрат
Размер на вафлата за проверка: ≦8-инчова вафла
Дефекти при проверка:Вафла:Драскотина,Чипване,Крак；ПОДЛОЖКА:Обезцветяване,Замърсяване,Деформация
Размер на откриване:10 x 10 um(Мин.)
Инспекционен източник на светлина:LED
Устройство за заснемане на изображения:Камера за линейно сканиране
Резолюция:2.8 um/пиксел
Време за такт:500 сек./бр(8-инч)
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Оборудване за проверка:WaferEye810
Софтуер за проверка:Система за проверка на дефекти
Размери на оборудването:170 х 130 х 220 см
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------