Inspeção de defeitos de superfície de wafer

Inspeção Óptica Automática AOI

WaferEye810,projetado para 8-bolachas de polegada,é um sistema avançado dedicado à detecção precisa de defeitos superficiais em wafers,garantindo alta-inspeção de qualidade.Através da integração do corte-sistemas ópticos de ponta e técnicas avançadas de processamento de imagem,este sistema é excelente na detecção de defeitos superficiais tão pequenos quanto 10 x 10µm de tamanho,incluindo arranhões,quebras,rachaduras,PADs anormais,e mais.Software inteligente permite real-exibição de imagem de tempo e análise de defeitos,documentando automaticamente as coordenadas de chips anormais junto com detalhes do defeito.Isso evita que chips defeituosos progridam para o próximo processo,reduzindo efetivamente o risco de custos de produção.
O sistema’A flexibilidade se estende à personalização,acomodar necessidades específicas do cliente para projetos de inspeção.Permite o ajuste perfeito de parâmetros para processos e requisitos de produto exclusivos,garantindo inspeção completa e taxas de detecção aprimoradas.Optar por projetos customizados proporciona uma solução sob medida,em última análise, elevando a eficiência da produção.
Escolher nosso sistema de inspeção WaferEye810 significa um compromisso com alta qualidade e eficiência.Deixar’s colaboram para liderar o caminho pioneiro em uma nova era de inspeção AOI!

Características

• Utiliza método de detecção Line Scan,suportando wafers de até 8 polegadas de tamanho
• Equipado com um alto-resolução 2.8µCâmera m para captura nítida de defeitos superficiais em wafers.
• Detecta defeitos com tamanho mínimo em torno de 10 x 10µeu.
• Capaz de inspecionar defeitos superficiais antes e depois do corte do wafer.
• Capaz de detectar defeitos na superfície do wafer e nas almofadas de colagem(ALMOFADA),com posterior análise de defeitos.
• Adaptável a diferentes requisitos da indústria,permitindo a substituição ou adição de itens de inspeção.
• Equipado com um alto-computador de alto desempenho e tela sensível ao toque,garantindo operação conveniente e real-inspeção de imagem de tempo.
• Software intuitivo e inteligente aumenta a eficiência operacional e a manutenção.
• Suporta inspeção offline,proporcionando flexibilidade para atender às demandas de diversas linhas de produção.

Folheto WaferEye810

Especificações
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Tipo de wafer de inspeção:Substrato de vidro wafer
Tamanho do wafer de inspeção: ≦8-bolacha de polegada
Defeitos de inspeção:Bolacha:Arranhar,Lascas,Rachadura；ALMOFADA:Descoloração,Contaminação,Deformação
Tamanho de detecção:10 x 10 hum(Mínimo.)
Fonte de luz de inspeção:LIDERADO
Dispositivo de captura de imagem:Câmera de varredura de linha
Resolução:2.8h/pixel
Tempo de tato:500 segundos./peças(8-polegada)
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Equipamento de inspeção:WaferEye810
Software de inspeção:Sistema de inspeção de defeitos
Dimensões do Equipamento:170 x 130 x 220 cm
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