Inspectie van defecten aan wafeloppervlak

AOI automatische optische inspectie

WaferEye810,ontworpen voor 8-inch-wafels,is een geavanceerd systeem dat zich toelegt op de nauwkeurige detectie van oppervlaktedefecten op wafers,hoog garanderen-kwaliteitsinspectie.Door de integratie van snijden-edge optische systemen en geavanceerde beeldverwerkingstechnieken,dit systeem blinkt uit in het detecteren van oppervlaktedefecten zo klein als 10 x 10µm groot,inclusief krassen,breuken,scheuren,abnormale PAD's,en meer.Intelligente software maakt real-tijdbeeldweergave en defectanalyse,automatisch documenteren van de coördinaten van abnormale chipchips, samen met defectdetails.Dit voorkomt dat defecte matrijschips doorgaan naar het volgende proces,effectief verminderen van het risico van productiekosten.
Het systeem’De flexibiliteit strekt zich uit tot maatwerk,tegemoetkomen aan specifieke klantbehoeften voor inspectieprojecten.Het maakt een naadloze aanpassing van parameters voor unieke processen en productvereisten mogelijk,zorgen voor een grondige inspectie en verbeterde detectiepercentages.Kiezen voor projecten op maat biedt maatwerk,uiteindelijk de productie-efficiëntie verhogen.
Als u voor ons WaferEye810-inspectiesysteem kiest, betekent dit dat u zich inzet voor zowel hoge kwaliteit als efficiëntie.Laten’We werken samen om het voortouw te nemen bij het pionieren van een nieuw tijdperk van AOI-inspectie!

Functies

• Maakt gebruik van Line Scan-detectiemethode,ondersteuning van wafels tot 8 inch groot
• Uitgerust met een hoge-resolutie 2.8µm-camera voor het duidelijk vastleggen van oppervlaktedefecten op wafers.
• Detecteert defecten met een minimale grootte van ongeveer 10 x 10µM.
• Geschikt voor het inspecteren van oppervlaktedefecten voor en na het snijden van wafers.
• Geschikt voor het detecteren van defecten op het waferoppervlak en de bondingpads(PAD),met daaropvolgende defectanalyse.
• Aanpasbaar aan verschillende industriële vereisten,waardoor vervanging of toevoeging van inspectie-items mogelijk is.
• Uitgerust met een hoge-prestatiecomputer en een touchscreen,zorgen voor gemakkelijke bediening en echt-tijd beeldinspectie.
• Intuïtieve intelligente software verbetert de operationele efficiëntie en het onderhoud.
• Ondersteunt offline inspectie,het bieden van flexibiliteit om aan de eisen van verschillende productielijnen te voldoen.

WaferEye810-brochure

Specificaties
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Type inspectiewafel:Waferglassubstraat
Inspectiewafelgrootte: ≦8-inch wafeltje
Inspectiedefecten:Wafeltje:Kras,Chippen,Scheur；PAD:Verkleuring,Verontreiniging,Vervorming
Detectiegrootte:10 x 10 urn(Min.)
Inspectielichtbron:LED
Apparaat voor het vastleggen van afbeeldingen:Lijnscancamera
Oplossing:2.8 uhm/pixel
Tact-tijd:500 sec./stuks(8-inch)
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Inspectieapparatuur:WaferEye810
Inspectiesoftware:Defectinspectiesysteem
Afmetingen van apparatuur:170x130x220 cm
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------