Inspektion af waferoverfladedefekter

AOI automatisk optisk inspektion

WaferEye810,designet til 8-tommer vafler,er et avanceret system dedikeret til præcis detektion af overfladefejl på wafers,sikre høj-kvalitetskontrol.Gennem integration af skæring-kant optiske systemer og avancerede billedbehandlingsteknikker,dette system udmærker sig ved at detektere overfladefejl så små som 10 x 10&mikro;m i størrelse,inklusive ridser,brud,revner,unormale PAD'er,og mere.Intelligent software muliggør ægte-tidsbilledvisning og defektanalyse,automatisk dokumentering af koordinaterne for unormale dyschips sammen med defektdetaljer.Dette forhindrer defekte spåner i at gå videre til den næste proces,effektivt at reducere risikoen for produktionsomkostninger.
Systemet’s fleksibilitet strækker sig til tilpasning,imødekomme specifikke kundebehov til inspektionsprojekter.Det giver mulighed for problemfri justering af parametre til unikke processer og produktkrav,sikre grundig inspektion og forbedrede detektionshastigheder.At vælge skræddersyede projekter giver en skræddersyet løsning,i sidste ende højne produktionseffektiviteten.
At vælge vores WaferEye810 inspektionssystem betyder en forpligtelse til både høj kvalitet og effektivitet.Lade’s samarbejder for at gå foran i banebrydende en ny æra af AOI-inspektion!

Funktioner

• Bruger Line Scan-detektionsmetoden,understøttende wafers på op til 8 tommer i størrelse
• Udstyret med en høj-opløsning 2.8&mikro;m kamera til tydelig optagelse af overfladefejl på wafere.
• Registrerer defekter med en minimumsstørrelse på omkring 10 x 10&mikro;m.
• I stand til at inspicere overfladefejl før og efter waferskæring.
• I stand til at detektere defekter på waferoverfladen og klæbepuder(PAD),med efterfølgende fejlanalyse.
• Kan tilpasses forskellige branchekrav,giver mulighed for udskiftning eller tilføjelse af inspektionsartikler.
• Udstyret med en høj-ydeevne computer og en berøringsskærm,sikrer bekvem betjening og ægte-tidsbilledinspektion.
• Intuitiv intelligent software øger driftseffektiviteten og vedligeholdelsen.
• Understøtter offline inspektion,giver fleksibilitet til at imødekomme kravene fra forskellige produktionslinjer.

WaferEye810 Brochure

specifikationer
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Inspektionswafer type:Wafer glassubstrat
Inspektionswaferstørrelse: ≦8-tommer oblat
Inspektionsfejl:Wafer:Kradse,Chipping,Sprække；PAD:Misfarvning,Forurening,Deformation
Detektionsstørrelse:10 x 10 um(Min.)
Inspektionslyskilde:LED
Billedoptagelsesenhed:Line Scan kamera
Løsning:2.8 um/pixel
Takt tid:500 sek./stk(8-tomme)
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Inspektionsudstyr:WaferEye810
Inspektionssoftware:Fejlinspektionssystem
Udstyr Dimensioner:170 x 130 x 220 cm
------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------